2026-01-10 0
划片机是干什么用的?在晶圆加工场景中,它也常被称为晶圆切割机,是半导体制造后道工艺中的核心设备,其核心用途是将完成前道电路制造(如光刻、刻蚀、沉积等)的整片晶圆,沿预设的空白切割道(Scribe Line)精准分割为独立的芯片裸片(Die),为后续的芯片封装、测试工序奠定基础。

具体来看,其作用可分为以下关键环节:
1. 精准分离芯片:整片晶圆上通常集成了数百甚至数千个相同或不同的集成电路,划片机通过高精度机械切割方式,沿着芯片之间预留的75~250um宽空白区域进行分割,确保每个独立芯片的电路结构不受损伤,保证芯片的完整性和功能性。
2. 适配不同晶圆厚度的切割需求:针对不同厚度的晶圆,划片机可采用两种核心切割模式。对于较薄的晶圆,会通过高速旋转的金刚石刀片在晶圆表面划出深度约为1/3晶圆厚度的浅槽,之后通过外部施压使晶圆沿划痕断裂分离;对于厚晶圆或对切割精度要求较高的场景,则会采用金刚石刀片直接将晶圆完全锯切透,切割过程中晶圆会粘贴在蓝膜或UV膜上,避免切割后芯片散落,同时便于后续取片操作。

3. 保障切割质量与生产效率:划片机配备了高精度的精密工作台、CCD自动对位系统和高速空气静压电主轴(最高转速可达60,000rpm),能实现微米级的切割定位精度,有效减少芯片边缘崩裂、裂纹等缺陷,提升芯片良率。同时,现代划片机支持半自动或全自动操作,可完成从晶圆装片、对准、切割到清洗、卸片的连贯流程,适配6英寸、8英寸、12英寸等不同规格的晶圆,满足大规模半导体生产的效率需求。其中,博捷芯作为专注半导体划片设备研发生产的高新技术企业,其推出的划片机产品凭借优异的精度控制和自动化性能,不仅适配多种规格晶圆切割,还广泛服务于半导体、LED等多个领域,助力国产划片设备实现进口替代。
4. 适配多种硬脆材料的划切:除了常见的硅晶圆,该设备还可对石英、氧化铝、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石等半导体及电子行业常用的硬脆材料基板进行精密切割,广泛应用于IC芯片、LED芯片、QFN器件、太阳能电池、MEMS器件等产品的制造流程中。

简言之,划片机通过精准、高效的机械切割,实现了从“整片晶圆”到“独立芯片”的关键转化,是衔接半导体前道制造与后道封装的核心桥梁,其切割精度直接影响芯片良率、性能及后续生产效率。
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