晶圆划片切割中,总会遇到各种情况,而最常见的就是工件的崩边问题,崩边包括:正崩,背崩,掉角及裂痕等。而有很多种不同因素都会导致崩边的产生,比如工件表面情况、粘膜情况、冷却水、刀片等。
公司创办至今,一直将自主创新放在重要位置,并高度重视研发工作。2018年,国内外主流6英寸划片机一直采用同步带、涡轮蜗杆等机械辅助传动转台方案。经过数月的调查和不断的试验,通过大量的数据积累和不断的设计改进,博捷芯团队成功地攻克了直驱电机转角结构方案,使转角定位精度及稳定性大幅度提高,一举达到国际先进水平。在以公司精密划片机型号LX-6366为代表(兼容6〜12寸晶圆,双头切割,自动修复法兰,CCD双镜头,重复精...
博捷芯精密划片机设备有多种类型:LX3252 6英寸精密划片机、LX3352 12英寸精密划片机、LX3356 8-12英寸兼容精密划片机、LX6366全自动双轴划片机、LX6636全自动单轴划片机。晶圆划片机切割应用行业主要用于半导体晶圆、集成电路、QFN、发光二极管、miniLED、太阳能电池、电子基片等的划切,适用于包括硅、石英、 氧化铝、氧化铁、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料。
LX3352系列精密切割机满足各种划切需求可用于加工最大边长为300 mm的方形工作物(特殊选配)。该设备标准配置了输出功率为1.8 kW的主轴,还将高扭矩主轴(2.2 kW)作为特殊选配供用户选择,使用2.2 kW主轴,可装配58mm或定制切割刀片,旋转轴采用DD马达驱动,采用进口超高精密滚柱型导轨和研磨级丝杆,双镜头自动影像识别系统,能够对硅或难加工材料进行切割加工。另外,作为特殊选配,还增加了适用于多工作物的对准功能。提...
精密划片机是一种高精密设备,精度的稳定性、使用的安全性及可靠性都与工作的环境、维护保养息息相关。1 、环境与外围要求划片机必须安装在无振动源,室内温度为 20 、25 摄氏度的净化间内,并配有气源、水源、电源、排污口、抽雾装置等。气源要求是经过过滤、冷凝、卜燥洁净的压缩空气,压力不低于 0 . 5 入 IPa ,过滤精度大于 0 . 01 " m ,露点一 15℃ 、除去油分 99 . 5 %。主轴冷却水建议用去离子水,压力不低于 0 ....
硬脆材料划片的实现依赖于锐利的金刚石刀片和高精度、高刚性的划片装置,以及高精度的空气静压主轴等来实现。在了解硬脆材料的性能和划片机理的基础上,作为设备制造厂家对硬脆材料划片工艺的研究,就显得十分必要和紧迫,对工艺参数的研究和优化,能够支持设备及半导体行业的发展。砂轮划片机的划片质量和划片效率,与划片工艺参数有十分密切的关系.在划片硬脆材料中,划切道宽度与崩边的大小,主要是受主轴转速、刀片、划片速度...
一、精密划片机行业介绍划片机是使用刀片或通过激光等方式高精度切割被加工物的装置,是半导体后道封测中晶圆切割和WLP切割环节的关键设备。随着集成电路沿大规模方向发展,划片工艺呈现愈发精细化、高效化的趋势。从19世纪60年代采用划线加工法依赖于人工操作的金刚刀划片机,到1968年英国LP公司发明的金刚石砂轮划片机采用研磨的工艺替代了传统的划线断裂工艺,再到后续的自动化划片机进一步提升了划片的效率。目前划片机广...
博捷芯晶圆切割机:从磨砂处理到芯片“诞生”晶圆切割也叫划片,是将晶圆经过磨砂处理后,切割成一个个单独的芯片,为后续工序做准备的过程。晶圆切割机首先要进行磨砂工序,去除在前端工艺中受化学污染的部分,减少晶圆厚度;在进行磨砂处理之前,需将UV胶带覆盖在晶圆正面,这样可以避免晶圆在切割过程中受到损伤;UV胶带黏着性高,可以防止晶圆脱落,之后用真空卡盘桌吸住,研磨晶圆的背面使其变薄。在磨砂处理后,继续在晶圆...
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